型號：FM-CVD 系列
本裝置用2.45GHz微波激發Φ50mm石英管腔內的稀薄氣體，產生穩態等離子球，除了開設等離子體基本知識技能實驗課之外，還可完成等離子體化學沉積、等離子體氣相刻蝕等實驗，用以制備金剛石膜或其它多種功能薄膜，或制備小臨界尺寸超大規模集成電路。本裝置是由微波、真空及供氣、水冷等3個獨立系統協調匹配而成的，適用于大學物理、化學、材料等學科的學生實驗和教師科研。
尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量：100kg，TCB-2080BPC27-1,，E3K80-DS50P1 Q23DI-L15SR561-RS3 AR400-06 AC20-02WZP2-3312AYB1052BAR340-RN1,PR18-10DNSR561-RS4 RX7-200 WRNR-13,TR220SR351-RM DWZX38A/10, FM-RT1K-250CD,K250CD AC30A-02,YSG-2 871bWZPK-165UNLB-30，K35D2H-8，DMM740 YB1053C AC5,,E3S-R2P3,DT2239A KLA-6SBWR-4270/440KD FMOR JM-05,XJP-02A,TES-1352AWREK-132687-1,PL-05P2WZP2-420B Q23JD-20,AR924SBWZ-2484/44SIWMZK-02,UT303,HY-3020ABHS5661A，K22JD-15WSBWR-2180/8413KD（）FM-QR2,TPI753WZPN2-131http://www.63504668.com http://www.yqybzhan.com http://www.jsbyb.com http://www.shwjzdh.com http://www.oneyb.com http://www.ttyssy.com http://www.591718.com http://www.shuangxu.net http://www.shanghaiyiqi.com http://www.shuangxudianzi.com http://www.yqybjyw.com http://www.63504668.cn http://www.shanghaiybw.com http://www.591718.cn http://www.591718.net |
