SZT-2A 四探針測試儀
1．主機采用世界先的先進電路設(shè)計，所測數(shù)值更精、更快、更準（一代為傳統(tǒng)式電路，缺點：體積大，速度慢，元器件繁多導(dǎo)致影響機器壽命）。
2．屏幕采用液晶顯示（一代為只有數(shù)碼管顯示），手自一體（自動是標配，手動手持是自選）。
3．匹配電腦接口及軟件(有232接口和USB兩種接口)，讓操作簡便明了化（可直接連接電腦，電腦進行自動運算根據(jù)輸入指定厚度，自動比照并修正系數(shù)，使被測結(jié)果更精確，數(shù)據(jù)可儲藏或刪除，利于使用方保存記錄）。
4．二代的測試架采用自動傳感裝置，接近被測物體時實行自動減速，避免了被測物體的損耗和探頭的磨損（先于國內(nèi)市場上任何一款同類產(chǎn)品的測試架，老一代為手動）。
5. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時，標準系數(shù)為隨選擇鍵自動運算，無需另外手工調(diào)整，省去了原儀器的諸多麻煩。
6.本儀器的大分辨率為0.1mΩ。
7．測試探頭為鎢針，市場上多為高速鋼針。
8．每次測量均有內(nèi)置計算機自動進行溫度補償及電壓電流矯正。
9．整機測量標準不確定度：≤ 2%（國內(nèi)其它廠家誤差為≤ 5% ）
10. 技術(shù)參數(shù)：
1)． 測量范圍：
電阻率：10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω
方塊電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
2)． 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑：5mm-130cm
長度：≤400mm
如果使用手持探針，尺寸范圍可以延伸
3)． 測量方法：
軸向、斷面均可
4)． 顯示方式：41/2,數(shù)顯,極性、過載自動顯示，小數(shù)點、單位自動顯示。
5)． 恒流源：
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 誤差：±0.5%讀數(shù)±1個字
6).四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W
10.SZT-2A 四探針測試儀器的價格為16800元/套和21800元/套 兩種
21800元/套 為帶電腦接口 <接口功能為當硅片的厚度＜1mm時自動修正讀數(shù)，使得測量出的數(shù)據(jù)準確率為100%，被測試的數(shù)據(jù)自動生成表格并可以打印，可以隨時保存和刪除
